Лаборатория фоторезистивных материалов (ЛФМ)

Nioch-logo

  

 старая версия сайта

Лаборатория фоторезистивных материалов (№51-ЛФM)

 

Лаборатория фоторезистивных материалов (№51-ЛФП) (организована в ноябре 2022 года Приказом от 03.11.2022 N74 «О создании лаборатории фоторезистивных материалов»)

 

Васильев Е.В.

Зав. лабораторией – к.х.н, 
Евгений Владимирович Васильев

тел. 8(383)330-96-42; вн. тел. 1-408 
e-mail:Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.

 

 

 Публикации сотрудников по годам  Публикации сотрудников по IF  Публикации сотрудников по видам

 

LFM 800

Лаборатория фоторезистивных материалов (организована в 2022 году) с целью разработки и тестирования фоторезистивных материалов для нужд оптической фотолитографии. Результаты работы лаборатории востребованы в микроэлектронной промышленности и в сфере биомедицинских приложений. Лаборатория выполняет исследования в рамках государственной программы «Фоторезистивные материалы для литографии в UV и DUV областях спектра» и создана в рамках мероприятий федерального проекта «Наука и университеты» по результатам открытого двухэтапного конкурса, организованного Министерством науки и высшего образования Российской Федерации.

 

 

Сотрудники

№ Сотрудник Должность Кабинет Телефон Телефон вн. email Публикации
по годампо видупо If
1 Васильев Евгений Владимирович зав. лабораторией(кхн) П-022 330-96-42 1-408 Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.
2 Агафонцев Александр Михайлович снс(кхн) 225, 245 330-98-55, 330-96-42 1-401, 1-242 Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.
3 Гурская Лариса Юрьевна нс(кхн) 131 330-68-59 1-384 Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.
4 Рязанов Никита Дмитриевич ведущий инженер 305 330-96-42 1-220
Студенты
5 Ахмедова Тахмина Дададжоновна лаборант 303 330-96-42 1-406 ""
6 Дучкова Маргарита Олеговна лаборант "" ""
7 Петухова Ольга Дмитриевна лаборант П-022 330-96-42 1-408 ""
8 Гаврилов Илья Николаевич лаборант 303 330-96-42 1-406 Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.
9 Конорев Вячеслав Алексеевич лаборант 245 1-242 Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.
Аспиранты
10 Байраш Александр Сергеевич мнс П-022 330-96-42 1-408 Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в браузере должен быть включен Javascript.

Направление исследований лаборатории

  • Разработка фоторезистивных материалов для литографии в UV и DUV областях спектра.
     
  • Разработка методик синтеза компонентов фоторезистов:
     
    • полимеров для фотолитографии,
       
    • фотогенераторов кислоты,
       
    • антиотражающих покрытий (BARC – bottom antireflection coating).
       
  • Разработка технологического режима получения фоторезистивных композиций, формирования тонких плёнок фоторезистов, пред- и пост-обработки фоторезистивных слоёв, экспонирования, проявления фоторезистов.
     
  • Создание оптических систем исследования и тестирования свойств фоторезистов
     

Партнеры лаборатории

  • ООО «МБС-Технология»
     
  • АО «Новосибирский завод полупроводниковых приборов Восток»
     

 

Публикации сотрудников подразделения (БД НИОХ СО РАН) (2020 - 2025 )

Обзоры, статьи в научных журналах


    2025
  1. E.S. Vasilyev, I.A. Trenikhin, G.A. Matrosov, E.A. Artyukha, P.A. Zaikin, A.V. Mikheilis, A.M. Agafontsev, T.V. Rybalova, A.V. Tkachev
    Chiral quaternized nopinane-annelated 4,5-diazafluorenes: electrochemical and photochemical properties
    Journal of Molecular Structure, V. 1342, 15 October 2025, 142718 doi:10.1016/j.molstruc.2025.142718, IF=4.7
  2. lYu.A. Bryleva a, A.V. Mikheylis, A.M. Agafontsev, L.A. Glinskaya, A.V. Tkachev
    Antenna effect of 1,10-phenanthroline derivative bearing (-)-borneol moieties in luminescent lanthanide(III) complexes
    Journal of Luminescence, V. 281, June 2025, 121144 doi:10.1016/j.jlumin.2025.121144, IF=3.6
  3. E. Vasiliev, A. Bukhtoyarova, V. Shelkovnikov, V. Berezhnaya, I. Shundrina
    Synthesis and optical properties of monomers and polymers with high refractive indexes based on piperidone thioacetals
    Polymer Engineering and Science, 2025, V. 65, N 3, March 202, Pages 1448-1461 doi:doi.org/10.1002/pen.27097, IF=3.2
  4. M.P. Davydova, T. Xu, A.M. Agafontsev, L. Meng, M. Wolff, M.Yu. Petyuk, I.Yu. Bagryanskaya, A.S. Berezin, A.V. Tkachev, H. Meng, A.V. Artem'ev
    Toward Rhenium-based Circularly Polarized OLEDs Using Tailored Chiral Re(CO)3 Emitters
    Angewandte Chemie International Edition, V.64, N 7, February 10, 2025, e202419788 doi:10.1002/anie.202419788, IF=16.9
  5. R.A. Ishchenko, N.A. Orlova, V.V. Shelkovnikov, A.M. Maksimov, N.D. Ryazanov, V.N. Berezhnaya, A.A. Chernonosov
    4-{3,5-BIS[2,3,5,6-TETRAFLUORO-4-(PIPERAZIN-1-YL)PHENYL]-4,5-DIHYDRO-1H-PYRAZOL-1-YL}BENZALDEHYDE IN THE SYNTHESIS OF NEW DENDRITIC CHROMOPHORES
    Russian Journal of Organic Chemistry. 2025. Т. 61. № 1. С. 184-189. doi:10.1134/S1070428024604722, IF=0.9
  6. T.E. Kokina, N.A. Shekhovtsov, A.V. Tkachev, A.M. Agafontsev, Ch. Gourlaouen, M.B. Bushuev
    Palladium-catalyzed C(sp3)-H activation in a monoterpene-based compound under mild conditions: a combined experimental and theoretical mechanistic study
    ChemPlusChem, V. 90, N 1, January 2025, e202400509 doi:10.1002/cplu.202400509, IF=2.8

    7. 2024
  7. M.Yu. Petyuk, L. Meng, Zi. Ma, A.M. Agafontsev, I.Yu. Bagryanskaya, A. Berezin, J. Zhang, A. Chu, M.I. Rakhmanova, H. Meng, A.V. Tkachev, V.Wing-Wah. Yam, A.V. Artem'ev
    Outstanding Circularly Polarized TADF in Chiral Cu(I) Emitters: From Design to Application in CP-TADF OLEDs
    Angewandte Chemie International Edition, V. 63, N 52, December 20, 2024, e202412437 doi:10.1002/anie.202412437, IF=16.1
  8. T.E. Kokina, A.M. Agafontsev, N.A. Shekhovtsov, L.A. Glinskaya, K.D. Sizintseva, M.I. Rakhmanova a, Yu.A. Golubeva, L.S. Klyushova, A.V. Tkachev, M.B. Bushuev
    Copper(ii), zinc(ii) and cadmium(ii) complexes with the o-picolyl ether of chiral α-aminooxime of natural (+)-limonene: synthesis, structures, luminescence and cytotoxicity
    Inorganic Chemistry Communications, V. 170, Part 2, December 2024, 113381 doi:10.1016/j.inoche.2024.113381, IF=4.4
  9. A.V. Tkachev, A.M. Agafontsev, D.V. Zubricheva, I.Yu. Bagryanskaya, V.D. Tikhova
    Chiral hybrid aza-oxa-terpene-based macrocycles as selective extractants for Pd(II) and Au(III)
    Tetrahedron, V. 156, 28 April 2024, 133921 doi:10.1016/j.tet.2024.133921, IF=3.9
  10. L. Gurskaya, L. Politanskaya, Ji. Wang, P. Ilyina, A. Volobueva, V. Zarubaev
    Efficient synthesis of novel fluorinated phenanthridin-6(5H)-one derivatives and in vitro evaluation of their antiviral activity
    Journal of Fluorine Chemistry, V. 274, February 2024, 110240 doi:10.1016/j.jfluchem.2024.110240, IF=1.7
  11. И.А. Малахов, Н.А. Орлова, В.В. Шелковников, Е.В. Васильев, А.А. Черноносов
    Синтез и спектральные свойства йодзамещенных красителей на основе солей бензотиазолия
    Журнал органической химии, 2024, Т. 60, N 1, Сс 132-142, DOI: 10.31857/S0514749224010126 (Synthesis and Spectral Properties of Iodo-Substituted Dyes Based on Benzothiazolium Salts/ I.A. Malakhov, N.A. Orlova, V.V. Shelkovnikov, E.V. Vasilyev, A.A. Chernonosov// Russian Journal of Organic Chemistry, V. 60, N 1, Pp 47-55 doi:10.1134/S107042802401007X), IF=0.8

    12. 2023
  12. E. Shutovskaya, Yu. Ustimenko, A. Tkachev, Ju. Burykina, A. Agafontsev, A. Lastovka, D. Polovyanenko, T. Sukhikh
    Unusual Ring Opening of Bicyclic Terpenes during Pd-catalyzed Coupling with Aromatic Halides
    Advanced Syntethys and Catalysis, 2023, V. 365, N 23, Pp 4256-4266 doi:10.1002/adsc.202300594, IF=5.4
  13. T.E. Kokina, A.M. Agafontsev, L.A. Glinskaya, M.I. Rakhmanova, A.V. Tkachev
    Complexes of Zn(II) and Cd(II) with Dimethylaminooxime Picoline Ester, a Terpene Derivative of (+)-3-Carene: Synthesis, Structure, and Photoluminescence Properties
    High Energy Chemistry, 2023, V. 57, Issue 3 supplement, Pp S416-S425 doi:10.1134/S0018143923090072, IF=0.7
  14. Кокина Т.Е., Агафонцев А.М., Сизинцева К.Д., Комаров В.Ю., Рахманова М.И., Голубева (Еремина) Ю.А., Клюшова Л.С.
    КОМПЛЕКСЫ Zn(II), Cd(II) И Pd(II) С ПРОИЗВОДНЫМ 1,10-ФЕНАНТРОЛИНА, СОДЕРЖАЩИМ ДИ-ИЗОПРОПИЛИДЕН ГЛЮКОЗУ: СИНТЕЗ, СТРОЕНИЕ, СВОЙСТВА
    Журнал структурной химии, 2023, Т.64, №12, 119035, DOI 10.26902/JSC_id119035 (Zn(II), Cd(II), and Pd(II) Complexes with a 1,10-Phenanthroline Derivative Bearing Diisopropylidene Glucose: Synthesis, Structure, Properties/ T. E. Kokina, A. M. Agafontsev, K. D. Sizintseva, V. Y. Komarov, M. I. Rakhmanova, Y. A. Golubeva, L. S. Klyushova// Journal of Structural Chemistry, 2023, V.64, N.12, Pp 2311-2325 doi:10.1134/S002247662312003X), IF=0.8
  15. A.N. Sinyakov, E.V. Kostina, D.E. Zaytsev, N.V. Chukanov, G.N. Kamaev, V.P. Bessmeltsev, V.V. Shelkovnikov, E.V. Vasil'ev
    New photoacids in microarray synthesis of oligonucleotides
    Journal of Saudi Chemical Society, V. 27, N 6, November 2023, 101709 doi:10.1016/j.jscs.2023.101709, IF=5.3
  16. Ni.K. Kulachenkov, B. Orlioglo, E.S. Vasilyev, S.A. Povarov, A.M. Agafontsev, S. Bachinin, S. Shipilovskikh, A. Lunev, D.G. Samsonenko, V.P. Fedin, K.A. Kovalenko, V.A. Milichko
    Metal-mediated tunability of MOF-based optical modulators
    Chem. Commun., 2023, 59 (66), 9964-9967 doi:10.1039/D3CC02180G, IF=4.9
  17. V. Shelkovnikov, E. Vasiliev, D. Derevyanko, A. Bukhtoyarova, V. Berezhnaya, I. Shundrina
    The holographic properties of photopolymers on the base of oxygen- and sulfur-containing spirocyclic monomers
    Journal of Materials Science, 2023,, V. 58, N 2, Pp. 983–995 doi:10.1007/s10853-022-08105-8, IF=4.5

Тезисы докладов на конференциях


    2025
  1. В.А. Конорев, А.М. Агафонцев
    Синтез неионных иминосульфонатных фотогенераторов кислот
    XXVIII Всероссийская конференция молодых учёных-химиков (с международным участием), Нижний Новгород, 15-17 апреля 2025 г., Сборник тезисов, стр.101

    2. 2024
  2. Е.В. Васильев, С.В. Деревяшкин, А.М. Агафонцев, В.А. Конорев, В.В. Шелковников, Е.Ф. Пен, А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская
    Двухфотонная голографическая запись микроструктур в позитивный ESCAP фоторезист
    Международная конференция ГОЛОЭКСПО 2024 (ГОЛОЭКСПО 2024), 09-13 сент. 2024, г. Казань. ХОЛОЭКСПО 2024. тезисы докладов 2024. С. 298-299.
  3. С.В. Деревяшкин, В.А. Конорев, А.М. Агафонцев, А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская, А.С. Байраш, Е.Ф. Пен, В.В. Шелковников, Е.В. Васильев
    Рельефно-фазовые дифракционные микроструктуры в слоях позитивного ESCAP фоторезиста на основе неионных фотогенераторов кислот
    Международная конференция ГОЛОЭКСПО 2024 (ГОЛОЭКСПО 2024), 09-13 сент. 2024, г. Казань. ХОЛОЭКСПО 2024. тезисы докладов 2024. С. 296-298
  4. В.В. Шелковников, Е.В. Васильев, А.Д. Бухтоярова, Д.И. Деревянко, В.Н. Бережная, И.Ю. Каргаполова, И.К. Шундрина
    Мономеры с высоким показателем преломления в голографических фото-полимерных материалах
    Международная конференция ГОЛОЭКСПО 2024 (ГОЛОЭКСПО 2024), 09-13 сент. 2024, г. Казань
  5. F.K. Verkhov, V.I. Krasnov, I.Y. Bagryanskaya, E.V. Vasilyev, P.A. Fedyushin, G.A. Selivanova
    Solid-state Photodimerization of Fluorinated 2-Quinolinones
    3 Inbternational Sumposium "Noncovalent interactions in synthesis , catalysis and engineering ", Novosibirsk, 19-25 August 2024, Book of Abstr., SC15, P. 71 (short communication)
  6. Ф.К. Верхов, Е.В. Васильев, В.И. Краснов, И.Ю. Багрянская, В.С. Таможникова, Е.М. Глебов, Г.А. Селиванова
    СИНТЕЗ И ФОТОХИМИЯ ФТОРСОДЕРЖАЩИХ ХИНОЛИН-2-ОНОВ
    Научно-практическая конференция "Фторидные материалы и технологии", Москва. 15 апр. 2024 г. - 19 апр. 2024 г., , Сборник тезисов, Стр. 175
  7. М. Свиридов, Л. Гурская,Л. Политанская
    Разработка синтеза фторсодержащих 2-фенил-5-азаиндолов
    Молодежная научная школа-конференция "Актуальные проблемы органической химии" (AПOX-2024), 15-21 марта 2024 г., п. Шерегеш, Сборник тезисов, стр. 132 (флэш-доклад)
  8. В.А. Конорев, А.М. Агафонцев
    СИНТЕЗ И СВОЙСТВА НЕИОННЫХ ФОТОГЕНЕРАТОРОВ КИСЛОТ
    Молодежная научная школа-конференция "Актуальные проблемы органической химии" (AПOX-2024), 15-21 марта 2024 г., п. Шерегеш, Сборник тезисов, стр. 116 (флэш-доклад)
  9. Е.В. Васильев, В.В. Шелковников, А.М. Агафонцев, С.В. Деревяшкин, А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская, В.А. Конорев
    Позитивные ESCAP фоторезисты, чувствительные к излучению 405/365 нм»
    Научно-практическая конференция "Малотоннажная химия: Разработки, производство, аналитический контроль" , 11-15 марта 2024 г., Новосибирск, Академгородок, Сборник тезисов, стр. 27

    10. 2023
  10. Е.А. Соболева, С.В. Деревяшкин, В.В. Шелковников
    ПОДХОДЫ К СИНТЕЗУ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ОЛИГОМЕРОВ НА ОСНОВЕ ДЕКАФТОРХАЛКОНА И БИС(4-ГИДРОКСИФЕНИЛ)СУЛЬФИДА
    «Байкальские чтения - 2023», посвященная 65-летию Иркутского института химии им. А.Е. Фаворского СО РАН и Международная конференция по химии «Байкальские чтения-2023», Иркутск, 4-8 сентября 2023 г. , Сборник тезис докладов, стр. 200
  11. А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская, В.В. Шелковников
    Синтез сополимеров 4-гидроксистирол-стирол-трет-бутилакрилат
    СПОХ-2023, 26-30 июня 2023, Академгородок, Новосибирск, Сборник тезисов, стр.164
  12. Л.Ю. Гурская, J. Wang, В.В. Зарубаев, П. Ильина, М. Михальский, А.С. Волобуева, Л.В. Политанская
    Синтез и противовирусная активность фторсодержащих фенантридин-6(5H)-онов
    СПОХ-2023, 26-30 июня 2023, Академгородок, Новосибирск, Сборник тезисов, стр.71

    13. 2022
  13. С.И. Алиев, Д.И. Деревянко, В.В. Шелковников, В.Н. Бережная, И.К. Шундрина
    Гибридный амин-акрилат-тиол-силоксановый фотополимерный материал для записи микроструктур при повышенной влажности окружающей атмосферы
    HOLOEXPO 2022, Тезисы докладов. XIX международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям.Санкт-Петербург, 20-22 сентября 2022 года, С.330-333
  14. Е.А. Соболева, С.В. Деревяшкин, П.М. Калетина, В.В. Шелковников
    Разработка методов синтеза новых олигомеров на основе декафторхалкона и бис(4-гидроксифенил)сульфида
    Всероссийская конференция «Марковниковские чтения: Органическая химия от Марковникова до наших дней», 16 - 21 сентября 2022 года, Лоо, Сочи, Россия. Сборник тезисов, стр. 173 (флэш-доклад)

Научные подразделения