Laboratory of photoresistive materials

Nioch-logo

  

 старая версия сайта

Laboratory of photoresistive materials (LPhM)

 

Laboratory of photoresistive materials was established in November Of 2022

 

Васильев Е.В.

Head – Dr. Sci., 
Eugeny V. Vasiliev

Phone:. 8(383)330-96-42
e-mail:This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

 

 

 Публикации сотрудников по годам  Публикации сотрудников по IF  Публикации сотрудников по видам

 

LFM 800

Лаборатория фоторезистивных материалов (организована в 2022 году) с целью разработки и тестирования фоторезистивных материалов для нужд оптической фотолитографии. Результаты работы лаборатории востребованы в микроэлектронной промышленности и в сфере биомедицинских приложений. Лаборатория выполняет исследования в рамках государственной программы «Фоторезистивные материалы для литографии в UV и DUV областях спектра» и создана в рамках мероприятий федерального проекта «Наука и университеты» по результатам открытого двухэтапного конкурса, организованного Министерством науки и высшего образования Российской Федерации.

 

 

Staff

№ Employee Position Room Phone Phone in. email Publications
by years
1 Vasilyev Evgeny Vladimirovich Lab's Head (Cand. Chem) П-022 330-96-42 1-408 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.
2 Agafontsev Alexander Mikhailovich Senior Researcher (Cand. Chem.) 225, 245 330-98-55, 330-96-42 1-401, 1-242 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.
3 Gurskaya Larisa Yurievna Researcher (Cand. Chem.) 131 330-68-59 1-384 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.
4 Ryazanov Nikita Dmitrievich Leading Engineer 305 330-96-42 1-220
Students
5 Akhmedova Takhmina Dadadzonovna laboratory assistant 303 330-96-42 1-406 ""
6 Duchkova Margarita Olegovna laboratory assistant "" ""
7 Petukhova Olga Dmitrievna laboratory assistant П-022 330-96-42 1-408 ""
8 Gavrilov Iliya Nikolaevich laboratory assistant 303 330-96-42 1-406 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.
9 Konorev Vyacheslav Alexeevich laboratory assistant 245 1-242 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.
PHD Students
10 Bairash Alexander Sergeevich Junior Researcher П-022 330-96-42 1-408 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

Направление исследований лаборатории

  • Разработка фоторезистивных материалов для литографии в UV и DUV областях спектра.
     
  • Разработка методик синтеза компонентов фоторезистов:
     
    • полимеров для фотолитографии,
       
    • фотогенераторов кислоты,
       
    • антиотражающих покрытий (BARC – bottom antireflection coating).
       
  • Разработка технологического режима получения фоторезистивных композиций, формирования тонких плёнок фоторезистов, пред- и пост-обработки фоторезистивных слоёв, экспонирования, проявления фоторезистов.
     
  • Создание оптических систем исследования и тестирования свойств фоторезистов
     

Партнеры лаборатории

  • ООО «МБС-Технология»
     
  • АО «Новосибирский завод полупроводниковых приборов Восток»
     

 

Публикации сотрудников подразделения (БД НИОХ СО РАН) (2020 - 2025 )

Обзоры, статьи в научных журналах


    2025
  1. E.S. Vasilyev, I.A. Trenikhin, G.A. Matrosov, E.A. Artyukha, P.A. Zaikin, A.V. Mikheilis, A.M. Agafontsev, T.V. Rybalova, A.V. Tkachev
    Chiral quaternized nopinane-annelated 4,5-diazafluorenes: electrochemical and photochemical properties
    Journal of Molecular Structure, V. 1342, 15 October 2025, 142718 doi:10.1016/j.molstruc.2025.142718, IF=4.7
  2. lYu.A. Bryleva a, A.V. Mikheylis, A.M. Agafontsev, L.A. Glinskaya, A.V. Tkachev
    Antenna effect of 1,10-phenanthroline derivative bearing (-)-borneol moieties in luminescent lanthanide(III) complexes
    Journal of Luminescence, V. 281, June 2025, 121144 doi:10.1016/j.jlumin.2025.121144, IF=3.6
  3. E. Vasiliev, A. Bukhtoyarova, V. Shelkovnikov, V. Berezhnaya, I. Shundrina
    Synthesis and optical properties of monomers and polymers with high refractive indexes based on piperidone thioacetals
    Polymer Engineering and Science, 2025, V. 65, N 3, March 202, Pages 1448-1461 doi:doi.org/10.1002/pen.27097, IF=3.2
  4. M.P. Davydova, T. Xu, A.M. Agafontsev, L. Meng, M. Wolff, M.Yu. Petyuk, I.Yu. Bagryanskaya, A.S. Berezin, A.V. Tkachev, H. Meng, A.V. Artem'ev
    Toward Rhenium-based Circularly Polarized OLEDs Using Tailored Chiral Re(CO)3 Emitters
    Angewandte Chemie International Edition, V.64, N 7, February 10, 2025, e202419788 doi:10.1002/anie.202419788, IF=16.9
  5. R.A. Ishchenko, N.A. Orlova, V.V. Shelkovnikov, A.M. Maksimov, N.D. Ryazanov, V.N. Berezhnaya, A.A. Chernonosov
    4-{3,5-BIS[2,3,5,6-TETRAFLUORO-4-(PIPERAZIN-1-YL)PHENYL]-4,5-DIHYDRO-1H-PYRAZOL-1-YL}BENZALDEHYDE IN THE SYNTHESIS OF NEW DENDRITIC CHROMOPHORES
    Russian Journal of Organic Chemistry. 2025. Т. 61. № 1. С. 184-189. doi:10.1134/S1070428024604722, IF=0.9
  6. T.E. Kokina, N.A. Shekhovtsov, A.V. Tkachev, A.M. Agafontsev, Ch. Gourlaouen, M.B. Bushuev
    Palladium-catalyzed C(sp3)-H activation in a monoterpene-based compound under mild conditions: a combined experimental and theoretical mechanistic study
    ChemPlusChem, V. 90, N 1, January 2025, e202400509 doi:10.1002/cplu.202400509, IF=2.8

    7. 2024
  7. M.Yu. Petyuk, L. Meng, Zi. Ma, A.M. Agafontsev, I.Yu. Bagryanskaya, A. Berezin, J. Zhang, A. Chu, M.I. Rakhmanova, H. Meng, A.V. Tkachev, V.Wing-Wah. Yam, A.V. Artem'ev
    Outstanding Circularly Polarized TADF in Chiral Cu(I) Emitters: From Design to Application in CP-TADF OLEDs
    Angewandte Chemie International Edition, V. 63, N 52, December 20, 2024, e202412437 doi:10.1002/anie.202412437, IF=16.1
  8. T.E. Kokina, A.M. Agafontsev, N.A. Shekhovtsov, L.A. Glinskaya, K.D. Sizintseva, M.I. Rakhmanova a, Yu.A. Golubeva, L.S. Klyushova, A.V. Tkachev, M.B. Bushuev
    Copper(ii), zinc(ii) and cadmium(ii) complexes with the o-picolyl ether of chiral α-aminooxime of natural (+)-limonene: synthesis, structures, luminescence and cytotoxicity
    Inorganic Chemistry Communications, V. 170, Part 2, December 2024, 113381 doi:10.1016/j.inoche.2024.113381, IF=4.4
  9. A.V. Tkachev, A.M. Agafontsev, D.V. Zubricheva, I.Yu. Bagryanskaya, V.D. Tikhova
    Chiral hybrid aza-oxa-terpene-based macrocycles as selective extractants for Pd(II) and Au(III)
    Tetrahedron, V. 156, 28 April 2024, 133921 doi:10.1016/j.tet.2024.133921, IF=3.9
  10. L. Gurskaya, L. Politanskaya, Ji. Wang, P. Ilyina, A. Volobueva, V. Zarubaev
    Efficient synthesis of novel fluorinated phenanthridin-6(5H)-one derivatives and in vitro evaluation of their antiviral activity
    Journal of Fluorine Chemistry, V. 274, February 2024, 110240 doi:10.1016/j.jfluchem.2024.110240, IF=1.7
  11. И.А. Малахов, Н.А. Орлова, В.В. Шелковников, Е.В. Васильев, А.А. Черноносов
    Синтез и спектральные свойства йодзамещенных красителей на основе солей бензотиазолия
    Журнал органической химии, 2024, Т. 60, N 1, Сс 132-142, DOI: 10.31857/S0514749224010126 (Synthesis and Spectral Properties of Iodo-Substituted Dyes Based on Benzothiazolium Salts/ I.A. Malakhov, N.A. Orlova, V.V. Shelkovnikov, E.V. Vasilyev, A.A. Chernonosov// Russian Journal of Organic Chemistry, V. 60, N 1, Pp 47-55 doi:10.1134/S107042802401007X), IF=0.8

    12. 2023
  12. E. Shutovskaya, Yu. Ustimenko, A. Tkachev, Ju. Burykina, A. Agafontsev, A. Lastovka, D. Polovyanenko, T. Sukhikh
    Unusual Ring Opening of Bicyclic Terpenes during Pd-catalyzed Coupling with Aromatic Halides
    Advanced Syntethys and Catalysis, 2023, V. 365, N 23, Pp 4256-4266 doi:10.1002/adsc.202300594, IF=5.4
  13. T.E. Kokina, A.M. Agafontsev, L.A. Glinskaya, M.I. Rakhmanova, A.V. Tkachev
    Complexes of Zn(II) and Cd(II) with Dimethylaminooxime Picoline Ester, a Terpene Derivative of (+)-3-Carene: Synthesis, Structure, and Photoluminescence Properties
    High Energy Chemistry, 2023, V. 57, Issue 3 supplement, Pp S416-S425 doi:10.1134/S0018143923090072, IF=0.7
  14. Кокина Т.Е., Агафонцев А.М., Сизинцева К.Д., Комаров В.Ю., Рахманова М.И., Голубева (Еремина) Ю.А., Клюшова Л.С.
    КОМПЛЕКСЫ Zn(II), Cd(II) И Pd(II) С ПРОИЗВОДНЫМ 1,10-ФЕНАНТРОЛИНА, СОДЕРЖАЩИМ ДИ-ИЗОПРОПИЛИДЕН ГЛЮКОЗУ: СИНТЕЗ, СТРОЕНИЕ, СВОЙСТВА
    Журнал структурной химии, 2023, Т.64, №12, 119035, DOI 10.26902/JSC_id119035 (Zn(II), Cd(II), and Pd(II) Complexes with a 1,10-Phenanthroline Derivative Bearing Diisopropylidene Glucose: Synthesis, Structure, Properties/ T. E. Kokina, A. M. Agafontsev, K. D. Sizintseva, V. Y. Komarov, M. I. Rakhmanova, Y. A. Golubeva, L. S. Klyushova// Journal of Structural Chemistry, 2023, V.64, N.12, Pp 2311-2325 doi:10.1134/S002247662312003X), IF=0.8
  15. A.N. Sinyakov, E.V. Kostina, D.E. Zaytsev, N.V. Chukanov, G.N. Kamaev, V.P. Bessmeltsev, V.V. Shelkovnikov, E.V. Vasil'ev
    New photoacids in microarray synthesis of oligonucleotides
    Journal of Saudi Chemical Society, V. 27, N 6, November 2023, 101709 doi:10.1016/j.jscs.2023.101709, IF=5.3
  16. Ni.K. Kulachenkov, B. Orlioglo, E.S. Vasilyev, S.A. Povarov, A.M. Agafontsev, S. Bachinin, S. Shipilovskikh, A. Lunev, D.G. Samsonenko, V.P. Fedin, K.A. Kovalenko, V.A. Milichko
    Metal-mediated tunability of MOF-based optical modulators
    Chem. Commun., 2023, 59 (66), 9964-9967 doi:10.1039/D3CC02180G, IF=4.9
  17. V. Shelkovnikov, E. Vasiliev, D. Derevyanko, A. Bukhtoyarova, V. Berezhnaya, I. Shundrina
    The holographic properties of photopolymers on the base of oxygen- and sulfur-containing spirocyclic monomers
    Journal of Materials Science, 2023,, V. 58, N 2, Pp. 983–995 doi:10.1007/s10853-022-08105-8, IF=4.5

Тезисы докладов на конференциях


    2025
  1. В.А. Конорев, А.М. Агафонцев
    Синтез неионных иминосульфонатных фотогенераторов кислот
    XXVIII Всероссийская конференция молодых учёных-химиков (с международным участием), Нижний Новгород, 15-17 апреля 2025 г., Сборник тезисов, стр.101

    2. 2024
  2. Е.В. Васильев, С.В. Деревяшкин, А.М. Агафонцев, В.А. Конорев, В.В. Шелковников, Е.Ф. Пен, А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская
    Двухфотонная голографическая запись микроструктур в позитивный ESCAP фоторезист
    Международная конференция ГОЛОЭКСПО 2024 (ГОЛОЭКСПО 2024), 09-13 сент. 2024, г. Казань. ХОЛОЭКСПО 2024. тезисы докладов 2024. С. 298-299.
  3. С.В. Деревяшкин, В.А. Конорев, А.М. Агафонцев, А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская, А.С. Байраш, Е.Ф. Пен, В.В. Шелковников, Е.В. Васильев
    Рельефно-фазовые дифракционные микроструктуры в слоях позитивного ESCAP фоторезиста на основе неионных фотогенераторов кислот
    Международная конференция ГОЛОЭКСПО 2024 (ГОЛОЭКСПО 2024), 09-13 сент. 2024, г. Казань. ХОЛОЭКСПО 2024. тезисы докладов 2024. С. 296-298
  4. В.В. Шелковников, Е.В. Васильев, А.Д. Бухтоярова, Д.И. Деревянко, В.Н. Бережная, И.Ю. Каргаполова, И.К. Шундрина
    Мономеры с высоким показателем преломления в голографических фото-полимерных материалах
    Международная конференция ГОЛОЭКСПО 2024 (ГОЛОЭКСПО 2024), 09-13 сент. 2024, г. Казань
  5. F.K. Verkhov, V.I. Krasnov, I.Y. Bagryanskaya, E.V. Vasilyev, P.A. Fedyushin, G.A. Selivanova
    Solid-state Photodimerization of Fluorinated 2-Quinolinones
    3 Inbternational Sumposium "Noncovalent interactions in synthesis , catalysis and engineering ", Novosibirsk, 19-25 August 2024, Book of Abstr., SC15, P. 71 (short communication)
  6. Ф.К. Верхов, Е.В. Васильев, В.И. Краснов, И.Ю. Багрянская, В.С. Таможникова, Е.М. Глебов, Г.А. Селиванова
    СИНТЕЗ И ФОТОХИМИЯ ФТОРСОДЕРЖАЩИХ ХИНОЛИН-2-ОНОВ
    Научно-практическая конференция "Фторидные материалы и технологии", Москва. 15 апр. 2024 г. - 19 апр. 2024 г., , Сборник тезисов, Стр. 175
  7. М. Свиридов, Л. Гурская,Л. Политанская
    Разработка синтеза фторсодержащих 2-фенил-5-азаиндолов
    Молодежная научная школа-конференция "Актуальные проблемы органической химии" (AПOX-2024), 15-21 марта 2024 г., п. Шерегеш, Сборник тезисов, стр. 132 (флэш-доклад)
  8. В.А. Конорев, А.М. Агафонцев
    СИНТЕЗ И СВОЙСТВА НЕИОННЫХ ФОТОГЕНЕРАТОРОВ КИСЛОТ
    Молодежная научная школа-конференция "Актуальные проблемы органической химии" (AПOX-2024), 15-21 марта 2024 г., п. Шерегеш, Сборник тезисов, стр. 116 (флэш-доклад)
  9. Е.В. Васильев, В.В. Шелковников, А.М. Агафонцев, С.В. Деревяшкин, А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская, В.А. Конорев
    Позитивные ESCAP фоторезисты, чувствительные к излучению 405/365 нм»
    Научно-практическая конференция "Малотоннажная химия: Разработки, производство, аналитический контроль" , 11-15 марта 2024 г., Новосибирск, Академгородок, Сборник тезисов, стр. 27

    10. 2023
  10. Е.А. Соболева, С.В. Деревяшкин, В.В. Шелковников
    ПОДХОДЫ К СИНТЕЗУ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ОЛИГОМЕРОВ НА ОСНОВЕ ДЕКАФТОРХАЛКОНА И БИС(4-ГИДРОКСИФЕНИЛ)СУЛЬФИДА
    «Байкальские чтения - 2023», посвященная 65-летию Иркутского института химии им. А.Е. Фаворского СО РАН и Международная конференция по химии «Байкальские чтения-2023», Иркутск, 4-8 сентября 2023 г. , Сборник тезис докладов, стр. 200
  11. А.Д. Бухтоярова, Л.Ю. Гурская, В.В. Шелковников
    Синтез сополимеров 4-гидроксистирол-стирол-трет-бутилакрилат
    СПОХ-2023, 26-30 июня 2023, Академгородок, Новосибирск, Сборник тезисов, стр.164
  12. Л.Ю. Гурская, J. Wang, В.В. Зарубаев, П. Ильина, М. Михальский, А.С. Волобуева, Л.В. Политанская
    Синтез и противовирусная активность фторсодержащих фенантридин-6(5H)-онов
    СПОХ-2023, 26-30 июня 2023, Академгородок, Новосибирск, Сборник тезисов, стр.71

    13. 2022
  13. С.И. Алиев, Д.И. Деревянко, В.В. Шелковников, В.Н. Бережная, И.К. Шундрина
    Гибридный амин-акрилат-тиол-силоксановый фотополимерный материал для записи микроструктур при повышенной влажности окружающей атмосферы
    HOLOEXPO 2022, Тезисы докладов. XIX международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям.Санкт-Петербург, 20-22 сентября 2022 года, С.330-333
  14. Е.А. Соболева, С.В. Деревяшкин, П.М. Калетина, В.В. Шелковников
    Разработка методов синтеза новых олигомеров на основе декафторхалкона и бис(4-гидроксифенил)сульфида
    Всероссийская конференция «Марковниковские чтения: Органическая химия от Марковникова до наших дней», 16 - 21 сентября 2022 года, Лоо, Сочи, Россия. Сборник тезисов, стр. 173 (флэш-доклад)

Institute